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EAP 设备自动化系统

发布时间：2022-09-13 浏览人数：1人查看

系统介绍

MES 自动过账、机况，报警和OEE、Recipe 管理：上传和下载、Recipe 参数比对、晶圆盒（Carrier ) 追溯、晶圆片生产追溯、生产参数追溯

系统特点

基于 PK 体系（中国自主可控的硬件和软件）开发的 EAP 系统
支援 SEMI E4/E5/E10/E37 等标准
跨平台设计 ARM/X86, Linux/Windows/Mac
已经在客户中进行一年以上的验证
打破传统 SECS/GEM 点对点（SECS Multiplexer) 和异步执行的设计
提供 SECSServer 把非 SECS/GEM 标准设备转换成 SECS/GEM 设备，客户只需要专注于 SECS/GEM 开发

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