适用产品
电真空器件、半导体器件、微电子器件
总体技术参数 | |
设备尺寸(L×W×H) | 5902mmx1395mmx1605mm |
设备重量 | 3700 KG(包括真空泵,冰水机) |
加热区数量 | 上Up8/下Bottom8 |
加热区长度 | 3380 mm (热风区+真空区) |
冷却区数量 | 3组(内置) |
排风量要求 | 408立方米/小时x2(通道) |
温控参数 | |
电气要求 | 3 phase,380V 50/60Hz(3 phase,220V 50/60Hz 选配) |
电源功率要求/启动功率/正常功率消耗 | 47 KW/30KW/12KW |
升温时间 | 约 25分钟 |
温度控制范围 | 室温---350℃ |
温度控制方式 | PID闭环控制+ SCR驱动 |
温度控制精度 | ± 1.0℃ |
PCB板温分布偏差 | ± 2.0℃ |
加热器 | 特制的镍铬加热丝 |
参数存储 | 可存多种生产设置参数与状况 (80GB) |
异常报警 | 温度异常(恒温后超高温或超低温) |
掉板报警 | 三色信号灯:黄-升温;吕-恒温;红-异常 |
运输参数 | |
导轨数量 | 1Lane |
导轨结构 | 整体分段式 |
PCB最大宽度 | 505mm |
导轨调宽范围/调宽形式 | 50--505mm/电动 |
部品高度 | PCB板上/下各30mm |
运输方向/运输导轨固定方式 | 左向右(选配: 右向左)/前端固定(选配:后端固定) |
PCB运输方式 | 链条 |
运输带高度/运输速度 | 900:20mm/900~1400 mm/min |
三种操作模式 | 运行/演示/编辑 |
冷却方式 | 标准配置 |
润滑油自动加注/电动打开上温区盖/在线编辑功能 | 标准配置 |
真空区控制参数 | |
真空度 | 5 mbar~10 mbar |
真空加压/释放控制精度 | 100 Pa/S |
真空泵功率 | 11 KW |
真空泵抽速 | 360 M^3/H、(5秒内10mbar) |
真空加热 | IR灯管辐射,内加热 |
其他配置 | |
氧气分析仪 | 选配(3通道或1通道) |
掉板报警/PCB板计数/SECS/GEM/UPS电源/PPM闭环控制/水流量报警 | 标准配置 |
以上图片及参数仅供参考,实际以技术协议为准